公司基本信息
上海昶火微电子科技有限公司
所属行业: | 电气/电力/水利+电子技术/半导体/集成电路 |
公司性质: | 民营 |
公司规模: | 20-99人 |
公司地址: | 沪闵路 |
公司介绍: | 所属行业:柔性面板显示行业、新能源行业、生物医疗行业等PECVD(等离子体增强化学气相沉积PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)工艺原理:将工艺气体通过射频电磁波电离,电离后的气体原子团在衬底上自组装形成纳米级薄膜作用:形成非/微晶硅和氮化硅等纳米级薄膜,用作保护层和非晶薄膜导电层等。 |
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